主要技术指标

1、XY载物台；物镜组；控制计算机；液晶显示器；宏观仪。

2、显微观察方法。白光彩色明场观察、暗场观察、偏振光观察。

3、物镜组。1.6×、5×、10×、20×、50×、100×。

4、放大倍数。16×—1880×。

测试功能

可获得高分辨的二维表面显微形貌；可观察样品表面亚μm程度（0.2μm）的三维形态和形貌；

可测量多种微小尺寸，如体积、面积、晶粒、膜厚、深度、长度、线粗糙度、面粗糙度等等。