分析元素范围B5-U92；

52.50的高X射线检出角；

微区分析1um；

放大倍数50-40万倍；

二次电子象分辨率6nm；

最大样品尺寸 100mm× 5mm

1）B5-U92化学元素的定性、定量分析；

2）材料微观形貌和元素分布的观察与分析；

3）材料微观成分分析、多个元素图像分布和单个元素立体成分分布；

4）快速定性分布、定量分析 、线分析、 面分析、状态分析；

5）各种金属、非金属化合物、矿物质的定性、定量分析；