分析元素：4Be-92U；

X射线管：4KW薄窗、Rh靶；

分光器：10晶体可交换，5种狭缝可交换、高次线轮廓功能、超高定性定量分析（300°/min)；

局部分析功能：分析直径500μm ；

给图功能：表示直径250μm；

1）可进行全元素5C-92U的定性定量分析；

2）可进行固体、粉末、液体等多种样品的定性分析和无需工作曲线的FP法定量分析；

3）在成熟的硬件上又增加了新开发的利用高次线进行的定性定量法；

4）可实现 250μm微区图像显示；