主要技术指标

1、分辨率：0.8nm@ 15KV 1.6nm @ 1KV 2.0nm @ 30KV(VP mode)；
2、放大倍数：12倍– 50万倍；
3、加速电压：0.02 - 30 KV；
4、探针电流：4 pA - 20 nA (12pA - 100 nA可选)；
5、样品室：330 mm (φ) x 270 mm (h)；
6、样品台：5轴优中心全自动；

测试功能

1、材料的微观组织形貌形貌观察；

2、材料断口分析和失效分析；

3、材料实时微区成分分析，元素定量、定性成分分析；

4、快速的多元素面扫描和线扫描分布测量；

5、晶体、晶粒的相鉴定，晶粒尺寸、形状分析，晶体、晶粒取向测量。