专利号： |
2009103071239 |
申请日： |
2009/9/17 |
授权公告日： |
2012/7/4 |
专利权人： |
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发明人： |
徐征；王德佳；刘冲；温金开；刘军山；杜立群 |
摘要：
本发明公开了一种玻璃微纳流控芯片对准装配方法及对准装配装置，属于微小型器件装配领域。该芯片对准装配方法采用显微镜观测玻璃微纳流控芯片的对准状态，采用固定基片，移动盖片的方法实现盖片与基片之间微纳通道对准。其装置采用倒置高倍显微镜观测玻璃微纳流控芯片对准状态，采用三维微移动台机构带动吸附盖片的真空吸盘移动，从而实现盖片的三维微移动。其装置由三维微移动台装置、真空吸附装置、倒置显微镜和微热板四部分组成。采用本发明可以缩短芯片的制造周期，降低芯片的制造成本和难度，能够满足日益复杂的通道间的对准要求。
