一、 产品和技术简介：

在国家自然科学基金等项目资助下，本课题组在 2003 年成功研制出基于立体视觉的显微操 作装配工作站，主要用于对微小物体进行操作和微小系统的装配，已推广到台湾大学等地区 使用，近年来结合不同领域用户实际需求，不断改进，显著改善了系统的可靠性、模块化、 灵活性、控制软件智能化程度，拓宽了本技术的应用范围，在多种微纳器件和系统的集成制 造中发挥了重要作用。系统具有图像采集、图像获取，三维成像、三维测量、微小系统装配、 微小零件在线修磨等，还可以根据用户具体要求定制特殊功能。系统配置可根据用户要求选 配，一种典型的配置如下：高倍立体显微成像系统、微操作器、数控微位移工作台、彩色 CCD 摄像机、高速图像采集及立体显示卡、高分辨率显示器、微型计算机以及可选操纵单元 （夹持器、真空吸盘、喷涂装置等）等。具有动静态彩色立体成像及显示。

系统典型技术参数如下：光学分辨率水平方向最高可达到 500nm，深度方向分辨率最高可达 到 80nm，立体视觉的深度分辨率为 10um，X/Y 每轴运动范围：50mm，Z 轴运动范围：25mm， 运动分辨率：1μm(per step)，自动引导重复定位精度：±3μm；具有操作自动寻位、自动 避障功能；有真空吸附与夹钳式拾取器（操作手）；具有空间位置测量及相对距离测量功能， 图像处理与分析功能、可以实现存储、打印等操作。

二、 应用范围：

（1）对微小型系统进行精密装配，如光纤连接器、微纳生化系统，显微光学镜头等；

（2）对微小单元进行操作，如生化领域的细胞操纵；

（3）显微手术和显微测量。

（4）娱乐、微观视频、科普等。 生产条件：需要局部千级洁净环境用于系统装调。

三、 知识产权情况：

申请国家发明专利 5 项，授权 1 项。发表论文 28 篇，软件登记权 1 项。

四、 规模与投资：

投资在 100 万元左右，基本为购置和定制单元器件成本。 成本估算：根据用户需求定制（对图像和操作精度/分辨率要求等），成本由 3 万～50 万不 等。

五、 提供技术的程度和合作方式：

技术入股方式进行合作。

六、 配图