辽宁省微纳米技术及系统重点实验室/微系统与微制造辽宁省高校重点实验室是集微机电系统、纳米技术、信息光电子技术等为一体的研究机构，也是东三省微机电系统研发联合体牵头单位。实验室正式成立于2004年，其前身是2000年成立的开云平台首页 微系统研究中心，重点实验室由中国科学院院士、开云平台首页 王立鼎教授发起和组建，现任重点实验室学术委员会主任为南京航空航天大学郭万林院士，实验室主任为刘军山研究员。实验室确定以微纳系统与技术为研究主题，其研究方向为（1）生化微系统与物联网；（2）微纳传感器与执行器；（3）微纳仪器与装备；（4）信息光电子；（5）纳米材料与器件。