原子力显微镜
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设备基本信息
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描述 主要规格及技术指标：
扫描范围：90μm×90μm×10μm；XY方向噪音水平：开环控制<0.10nm，闭环控制<0.15nm；Z方向噪音水平：开环控制<0.03nm，闭环控制<0.035nm；可持续稳定得到原子级分辨率；XY方向最大扫描速度：>2mm/s，Z方向最大扫描速度：>12mm/s。
主要功能及特色：
应用于半导体材料、生物材料、高分子材料等研究领域。可以对各类薄膜样品，如半导体材料、光电材料、磁性材料的表面平整度及表面拓扑结构表征；可以对高分子材料、有机材料、橡胶等进行表面力学特性，如杨氏模量、粘滞力、耗损进行定性定量分析；可以对生物样品，如细胞、蛋白质、组织等样品进行快速扫描，检测生命体的反应过程。
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